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怎样检测真空泵的漏率

文章出处:/责任编辑:admin作者:admin人气: 发表时间:2018-06-22 16:01 字体大小:【

  真空泵真空漏率测量的办法是以示漏物质夜盖被橙容器的整个可疑区(或者被检容器内充人示漏物质),另一侧抽真空(或是大气);或是在被检容器的内外两侧形成压差(或示漏物质的浓度差),在低压(或低浓度)侧侧2示漏物质的漏率和浓度变化。

  (1)加压条件下容器漏率的测定

  真空泵在加压条件下测童容器漏率的方法有:气泡法、超声法、气敏半导体检漏仪法、氨检漏法、卤素检漏仪法、氮质谱检漏仪法等。

  (2)真空条件下容器漏率的测定

  ①利用接人真空容器的真空规、离子泵及残气分析质谱计来测定容器的漏率。

  ②可以选用流盆测量、压力测量、卤素检漏仪以及氮质谱检漏仪等方法来测全漏率。

  (3)密封件的无损检漏

  ①尽量利用密封件上可用来指示密封器件内部压力和示漏物质分压力的规管和残气分析质谱计等进行检漏。

  ②真空泵有些原来不是测量压力的装置,如:电子管、显像管等,若改换馈电方式,将其电极接成电离规的方式,测全出管内离子流的变化,便可知管内压力的变化率。大批量生产这类器件时,可以通过校准的方法把离子流的变化率直接换算成漏率。

  ③真空泵密封件内部具有可作为示漏的物质时,采用动态法或静态法对漏到外面的示漏物质进行检测,就可测出漏孔来。通常这类密封件内部的示漏气体的分压力要比采用背压法时的压力为高。因此,检漏灵敏度高,费用低。

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